---在常温常压下是一种无色无臭气体。属弱酸性气体，在高温时具有轻微---性气味；不可燃，液态---多少钱，液化后变成无色无味的液体。常温常压下是一种无色无臭气体。在21.1℃和101. 3kpa下气体相对密度（空气=1）1. 522，液态---公司，在101. 3kpa下升华温度- 78.5℃。蒸气压(kpa)：5778(21.1℃)、3385(0℃)、2082(- 16.7℃)、416 (-56.5℃)、0（一78.5℃）。气体密度( kg/m3):1.833(21.1℃.101. 3kpa)，1. 977 (0℃，101. 3kpa)。饱和液体密度(kg/m3):762(21.1℃)，929(0℃)，1014(- 16.7℃)，1070(- 28.9℃)，1177(-56.6℃)。临界温度31.1℃，临界压力7382kpa．临界密度468kg/m3。三相点-56.6℃(416kpa)。蒸发潜热(kj/kg)：234.5(0℃)，276.8(- 16.7℃)，液态---厂家，301.7（-28.9℃）。熔化潜热 199kj/kg(-56.6℃)。---是一种弱酸性气体，在高温时具有轻微---性气味。在---压下，---不能以液体存在，当温度和压力高于三相点，但低于31.1℃时，在封闭容器中---体和气体处于平衡状态。---不可燃，昌平液态---，有水存在时，能腐蚀某些普通金属。
---是无色、无味、窒息性气体。---气体用于干冰、杀菌---制造，鱼类、奶油、奶酪、冰糕等的保存，低温输送、灭火剂，冷却剂；液体---用于冷却剂、焊接、铸造工业、清凉饮料、灭火剂、碳酸盐类的制造、杀虫剂、氧化防止剂、植物生长促进剂、发酵工业、---（局部麻木）、制糖工业、胶及动物胶制造等。
在半导体制造中氧化、扩散、化学气相淀积，蔬菜保鲜，某些反应的惰性介质，石墨反应器的热载体，输送自燃液体的压入气体，标准气，校正气，在线仪表标准气，特种混合气。
1.原料准备:采用高纯度的---气体或液态---作为原料。
2.纯化处理:采用吸附剂、分子筛等材料对原料进行纯化处理，去除其中的杂质。
3.冷凝分离:将纯化后的---气体或液态---通过冷凝分离的方式，分离出其中的杂质和水分。
4.再纯化处理:对分离出的---进行再纯化处理，使其纯度达到99.995%以上。
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